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光刻機是干什么用的？光刻機與蝕刻機哪個(gè)貴？

光刻機是做什么用的，我們手機中的芯片就是光刻機刻的嗎？光刻機一共就那么十幾臺，全球的芯片好幾個(gè)億，真刻的過(guò)來(lái)嗎？光刻機與蝕刻機哪個(gè)更貴？

2021-04-09
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匿名用戶(hù)

2021-04-09

　　光刻機是芯片制造流程中的核心設備，由于用途不同，分為生產(chǎn)芯片的光刻機、用來(lái)封裝的光刻機和LED領(lǐng)域的投影光刻機。

　　芯片的制造流程很復雜，可以分為：硅片制備、外延工藝、熱氧化、擴散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕和工藝集成等。

　　光刻工藝是制造流程中最關(guān)鍵的一步，光刻確定了芯片的關(guān)鍵尺寸，在整個(gè)制造過(guò)程中大約占了整體制造成本的35%。

　　蝕刻機分為兩類(lèi)，目前主流的是濕刻，還有一類(lèi)是干刻，濕刻就是特定的化學(xué)溶液和光刻機制作后的薄膜發(fā)生反應后剩下的東西，就是需要的東西，整個(gè)過(guò)程有液體接觸，所以稱(chēng)為濕刻。

　　光刻機要更貴一些，一般來(lái)說(shuō)，一架光刻機是7000萬(wàn)美元，而一架刻蝕機是700萬(wàn)美元。

　　低端光刻機技術(shù)與刻蝕機是差不多的，高端光刻機技術(shù)會(huì )比刻蝕機要高的多;原理上光刻機與刻蝕機難度基本上相等。

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